Simultaneous imaging of the topography and dynamic properties of nanomechanical systems by optical beam deflection microscopy
5 figuras, 5 páginas
| Autores: | , , , , , |
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2011 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:dnet:digitalcsic_::8b1806b85b7d97b06ed5928f3fe639a1 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/39099 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Cantilevers Image resolution Internal stresses Laser beams Micromechanical devices Optical images |
| Sumario: | 5 figuras, 5 páginas |
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