2D compositional self-patterning in magnetron sputtered thin films

7 pags., 5 figs.

Detalles Bibliográficos
Autores:	García-Valenzuela, Aurelio, Álvarez, Rafael, Rico, Víctor J., Espinós, J.P., López-Santos, Carmen, Solís Céspedes, Javier, Siegel, Jan, Campo, Ángel Adolfo del, Palmero, Alberto, González-Elipe, Agustín R.
Tipo de recurso:	artículo
Estado:	Versión aceptada para publicación
Fecha de publicación:	2019
País:	España
Institución:	Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:	DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:	oai:digital.csic.es:10261/201982
Acceso en línea:	http://hdl.handle.net/10261/201982
Access Level:	acceso abierto
Palabra clave:	Compositional patterning LIPPS Surface composition Angle resolved XPS Magnetron sputtering SiOx thinfilms

Descripción
Sumario:	7 pags., 5 figs.