Gómez Arribas, F. J., Garrido Salas, J., Martínez Rodríguez, J., & Piqueras, J. (1996). Rapid thermal annealing behavior of amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma.
Citação norma ChicagoGómez Arribas, Fco. Javier, Javier Garrido Salas, Javier Martínez Rodríguez, y Juan Piqueras. Rapid Thermal Annealing Behavior of Amorphous SiC Layers Deposited By Electron Cyclotron Resonance Plasma. 1996.
Citação norma MLAGómez Arribas, Fco. Javier, Javier Garrido Salas, Javier Martínez Rodríguez, y Juan Piqueras. Rapid Thermal Annealing Behavior of Amorphous SiC Layers Deposited By Electron Cyclotron Resonance Plasma. 1996.
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