Atomic layer deposition and properties of ZrO2/Fe2O3 thin films

Producción Científica

Bibliographic Details
Authors:	Kalam, Kristjan, Seemen, Helina, Ritslaid, Peeter, Rähn, Mihkel, Tamm, Aile, Kukli, Kaupo, Kasikov, Aarne, Link, Joosep, Stern, Raivo, Dueñas Carazo, Salvador, Castán Lanaspa, María Helena, García García, Héctor
Format:	article
Status:	Published version
Publication Date:	2018
Country:	España
Institution:	Universidad de Valladolid
Repository:	UVaDOC. Repositorio Documental de la Universidad de Valladolid
OAI Identifier:	oai:uvadoc.uva.es:10324/44647
Online Access:	https://doi.org/10.3762/bjnano.9.14 http://uvadoc.uva.es/handle/10324/44647
Access Level:	Open access
Keyword:	Atomic layer deposition Deposición de capa atómica Metal oxides Óxidos metálicos Thin films Láminas delgadas

Description
Summary:	Producción Científica