Recubrimientos protectores de TiN y AIN: comportamiento frente a temperatura
[ES] La utilización de materiales cerámicos como el nitruro de titanio o de aluminio ha experimentado una gran popularización en los últimos años gracias a su gran variedad de aplicaciones. Una importante aplicación que cuenta hasta el momento con resultados muy favorables es la de su uso como recub...
| Authors: | , , |
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| Format: | article |
| Publication Date: | 2006 |
| Country: | España |
| Institution: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repository: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/4133 |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10261/4133 |
| Access Level: | Open access |
| Keyword: | TiN AIN Sputtering reactivo Recubrimientos protectores Resistencia térmica Reactive sputtering Protective coatings Thermal resistance |
| Summary: | [ES] La utilización de materiales cerámicos como el nitruro de titanio o de aluminio ha experimentado una gran popularización en los últimos años gracias a su gran variedad de aplicaciones. Una importante aplicación que cuenta hasta el momento con resultados muy favorables es la de su uso como recubrimientos protectores de herramientas industriales, así como de moldes empleados en la fabricación de diferentes elementos. Una de las técnicas más utilizadas en la obtención de recubrimientos protectores es la técnica de sputtering, utilizada en este trabajo. En el presente estudio se han analizado las propiedades estructurales y mecánicas de láminas delgadas de TiN y AlN mediante las técnicas de difracción de rayos X, microscopía electrónica de barrido, nanoindentación y pin-on-disk. Dichas capas han sido sometidas a un tratamiento térmico en el que se han aplicado tres temperaturas: 750oC, 850oC y 950oC, y se han observado variaciones en sus propiedades antes y después del tratamiento. Las capas de TiN presentan una resistencia térmica en torno a 750oC. Las capas de AlN resisten hasta una temperatura en torno a 850oC, observándose además una mejoría en sus propiedades al ser sometidas a dicha temperatura de 850oC. |
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