Direct laser interference patterning meets laser-induced periodic surface structures: hybrid dual periodic laser patterning of semiconductors

18 pages, 11 figures, 2 tables

Detalles Bibliográficos
Autores:	Solana, Irene, Aiartza, Eneko, Chacon, Fernando, Siegel, Jan
Tipo de recurso:	artículo
Estado:	Versión publicada
Fecha de publicación:	2025
País:	España
Institución:	Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:	DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:	oai:digital.csic.es:10261/411565
Acceso en línea:	http://hdl.handle.net/10261/411565 https://api.elsevier.com/content/abstract/scopus_id/105015535854
Access Level:	acceso abierto
Palabra clave:	Direct laser interference patterning Dual LIPSS Femtosecond laser Laser-induced periodic surface structures physics Physics

Descripción
Sumario:	18 pages, 11 figures, 2 tables