High volume-per-dose and low resistivity of cobalt nanowires grown by Ga+ focused ion beam induced deposition

This article belongs to the Special Issue Nanomaterials for the Advanced Manufacturing of Electronic Devices.

Detalles Bibliográficos
Autores: Sanz-Martín, Carlos, Magén, César, Teresa, José María de
Tipo de recurso: artículo
Estado:Versión publicada
Fecha de publicación:2019
País:España
Institución:Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:oai:digital.csic.es:10261/208062
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10261/208062
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Cobalt nanowires
Focused ion beam induced deposition
Ion milling
High growth rate
Descripción
Sumario:This article belongs to the Special Issue Nanomaterials for the Advanced Manufacturing of Electronic Devices.