Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.

Detalles Bibliográficos
Autor: Olaya, J. J.
Tipo de recurso: artículo
Estado:Versión publicada
Fecha de publicación:2007
País:Colombia
Institución:Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:Repositorio UN
Idioma:español
OAI Identifier:oai:repositorio.unal.edu.co:unal/73656
Acceso en línea:https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/73656
http://bdigital.unal.edu.co/38132/
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Magnetrón desbalanceado
nitruros metálicos de transición
microestructura
orientación preferencial.
Unbalanced magnetron
transition metallic nitride
microstructure
preferential growth.
Descripción
Descripción no disponible.