Filmes finos de CeO2 depositados por spray pirólise
Neste trabalho, filmes finos de óxido de cério foram depositados em substrato de vidro utilizando-se a técnica spray pirólise. CeCl3.7H2O diluído em água e álcool isopropílico foi utilizado como material precursor. O principal objetivo deste trabalho foi verificar a influência dos parâmetros de depo...
| Authors: | , |
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| Format: | article |
| Status: | Published version |
| Publication Date: | 2007 |
| Country: | Brasil |
| Institution: | Matéria (Rio de Janeiro. Online) |
| Repository: | Matéria (Rio de Janeiro. Online) |
| Language: | Portuguese |
| OAI Identifier: | oai:scielo:S1517-70762007000100006 |
| Online Access: | http://old.scielo.br/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S1517-70762007000100006 |
| Access Level: | Open access |
| Keyword: | Óxido de cério spray pirólise filmes finos |
| Summary: | Neste trabalho, filmes finos de óxido de cério foram depositados em substrato de vidro utilizando-se a técnica spray pirólise. CeCl3.7H2O diluído em água e álcool isopropílico foi utilizado como material precursor. O principal objetivo deste trabalho foi verificar a influência dos parâmetros de deposição nas propriedades desses filmes. Verificou-se que filmes depositados em temperaturas superiores a 400°C, para tempos de até 10 minutos, apresentaram-se livres de trincas, com superfície continua, densos e com boa aderência ao substrato. As espessuras dos filmes, cujos valores variaram entre 0,3 e 1,0 μm, foram medidas por meio de análises de MEV. Análises por difração de raios-X revelaram que os filmes obtidos apresentam-se policristalinos, com uma estrutura cúbica do tipo fluorita. Os filmes apresentaram pouca variação tanto na condutividade elétrica quanto na energia de ativação do processo de condução elétrica, com o aumento da temperatura de deposição. A energia de ativação média encontrada para os filmes foi de 0.60 ± 0.03 eV. |
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