Litografia por oxidação anódica seletiva de nanodispositivos através de microscopia de força atômica
Orientadores: Gilberto Medeiros Ribeiro, José Antonio Brum
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| Tipo de recurso: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2006 |
| País: | Brasil |
| Institución: | Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Repositorio: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Idioma: | portugués |
| OAI Identifier: | oai::427953 |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1607383 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Semicondutores Nanofabricação Oxidação anodica seletiva Microscopia de força atômica Nanodispositivos Semiconductors Nanofabrication Local anodic oxidation Atomic force microscopy Nanodevices |
| Sumario: | Orientadores: Gilberto Medeiros Ribeiro, José Antonio Brum |
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