Sensor de pressão microeletronico baseado no efeito piezoresistivo transversal em silicio
Orientador: Fabiano Fruett
| Autor: | |
|---|---|
| Tipo de recurso: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2008 |
| País: | Brasil |
| Institución: | Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Repositorio: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Idioma: | portugués |
| OAI Identifier: | oai::437621 |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1608759 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Transdutores de pressão Microeletrônica Circuitos integrados Sensor de pressão Pressure transducers Microelectronics Integrated circuits Pressure sensors |
| Sumario: | Orientador: Fabiano Fruett |
|---|