Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
Orientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Moshkalev
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| Tipo de recurso: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2007 |
| País: | Brasil |
| Institución: | Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Repositorio: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Idioma: | portugués |
| OAI Identifier: | oai::441644 |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Feixes de íons focalizados Focused ion beam |
| Sumario: | Orientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Moshkalev |
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