Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /
Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico.
| Autor: | |
|---|---|
| Tipo de recurso: | tesis doctoral |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 1997 |
| País: | Brasil |
| Institución: | Universidade Federal de Santa Catarina (UFSC) |
| Repositorio: | Repositório Institucional da UFSC |
| Idioma: | portugués |
| OAI Identifier: | oai:repositorio.ufsc.br:123456789/76999 |
| Acceso en línea: | http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/76999 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Nitruração Teses Filmes finos Metalizacao ionica Titanio Metalografia |
| Sumario: | Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. |
|---|