Márquez-Herrera, A., Hernández-Rodríguez, E., Cruz-Jáuregui, M., Zapata-Torres, M., & Zapata-Navarro, A. (2010). Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento térmico in situ de películas delgadas depositadas por rf-sputtering.
Citación estilo ChicagoMárquez-Herrera, A., E. Hernández-Rodríguez, M.P Cruz-Jáuregui, M. Zapata-Torres, y A. Zapata-Navarro. Calentador De Sustratos Compacto Y De Bajo Costo Para Tratamiento Térmico in Situ De Películas Delgadas Depositadas Por Rf-sputtering. 2010.
Cita MLAMárquez-Herrera, A., et al. Calentador De Sustratos Compacto Y De Bajo Costo Para Tratamiento Térmico in Situ De Películas Delgadas Depositadas Por Rf-sputtering. 2010.
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