Desarrollo de mascaras para litografía a partir de monocapas de partículas coloidales de sílice
| Autor: | |
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| Formato: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2011 |
| País: | México |
| Recursos: | Universidad Nacional Autónoma de México |
| Repositorio: | Repositorio de Tesis de la UNAM |
| Idioma: | español |
| OAI Identifier: | oai:ru.dgb.unam.mx:20.500.14330/TES01000669858 |
| Acesso em linha: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000669858 https://tesiunamdocumentos.dgb.unam.mx/ptb2011/junio/0669858/Index.html |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palavra-chave: | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
| Descrição não disponível. |