Desarrollo de mascaras para litografía a partir de monocapas de partículas coloidales de sílice
| Author: | |
|---|---|
| Format: | master thesis |
| Status: | Published version |
| Publication Date: | 2011 |
| Country: | México |
| Institution: | Universidad Nacional Autónoma de México |
| Repository: | Repositorio de Tesis de la UNAM |
| Language: | Spanish |
| OAI Identifier: | oai:ru.dgb.unam.mx:20.500.14330/TES01000669858 |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000669858 https://tesiunamdocumentos.dgb.unam.mx/ptb2011/junio/0669858/Index.html |
| Access Level: | Open access |
| Keyword: | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
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