Whitworth, G. L., Francone, A., Sotomayor Torres, C. M., & Kehagias, N. (2020). Real-time optical dimensional metrology via diffractometry for nanofabrication.
Citação norma ChicagoWhitworth, Guy L.|||0000-0002-5060-6946, Achille|||0000-0001-7757-9901 Francone, Clivia M.|||0000-0001-9986-2716 Sotomayor Torres, y Nikolaos|||0000-0002-2698-383X Kehagias. Real-time Optical Dimensional Metrology Via Diffractometry for Nanofabrication. 2020.
Citação norma MLAWhitworth, Guy L.|||0000-0002-5060-6946, Achille|||0000-0001-7757-9901 Francone, Clivia M.|||0000-0001-9986-2716 Sotomayor Torres, y Nikolaos|||0000-0002-2698-383X Kehagias. Real-time Optical Dimensional Metrology Via Diffractometry for Nanofabrication. 2020.
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