Martil De La Plaza, I., González Díaz, G., Prado Millán, Á. D., & San Andrés Serrano, E. (2002). Composition and optical properties of silicon oxynitride films deposited by electron cyclotron resonance.
Citación estilo ChicagoMartil De La Plaza, Ignacio, Germán González Díaz, Álvaro Del Prado Millán, y Enrique San Andrés Serrano. Composition and Optical Properties of Silicon Oxynitride Films Deposited By Electron Cyclotron Resonance. 2002.
Cita MLAMartil De La Plaza, Ignacio, Germán González Díaz, Álvaro Del Prado Millán, y Enrique San Andrés Serrano. Composition and Optical Properties of Silicon Oxynitride Films Deposited By Electron Cyclotron Resonance. 2002.
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