On the use of multilayer hexagonal boron nitride as dielectric in micro/nano-electronic devices
Programa de Doctorat en Nanociències
| Autor: | |
|---|---|
| Tipo de recurso: | tesis doctoral |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2024 |
| País: | España |
| Institución: | CBUC, CESCA |
| Repositorio: | TDR. Tesis Doctorales en Red |
| OAI Identifier: | oai:www.tdx.cat:10803/692445 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10803/692445 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Dielèctrics Dieléctricos Dielectrics Nitrur de bor Nitruro de boro Boron nitride Microelectrònica Microelectrónica Microelectronics Ciències Experimentals i Matemàtiques 621.3 |
| Sumario: | Programa de Doctorat en Nanociències |
|---|