N2–H2 capacitively coupled radio-frequency discharges at low pressure: II. Modeling results: the relevance of plasma-surface interaction
23 pags., 16 figs., 4 tabs.
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión aceptada para publicación |
| Fecha de publicación: | 2020 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/234075 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/234075 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Cold plasma CCP discharge N2 H2 mixture Modeling Plasma surface interactions |
| Sumario: | 23 pags., 16 figs., 4 tabs. |
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